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Foundations of Mems

Chang Liu
Livre relié | Anglais
418,95 €
+ 837 points
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Description

For courses in Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) taken by advanced undergraduate students, beginning graduate students, and professionals.

Foundations of MEMS is an entry-level text designed to systematically teach the specifics of MEMS to an interdisciplinary audience. Liu discusses designs, materials, and fabrication issues related to the MEMS field by employing concepts from both the electrical and mechanical engineering domains and by incorporating evolving microfabrication technology -- all in a time-efficient and methodical manner. A wealth of examples and problems solidify students' understanding of abstract concepts and provide ample opportunities for practicing critical thinking.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Editeur:

Contenu

Nombre de pages :
576
Langue:
Anglais

Caractéristiques

EAN:
9780132497367
Date de parution :
01-02-11
Format:
Livre relié
Format numérique:
Ongenaaid / garenloos gebonden
Dimensions :
188 mm x 231 mm
Poids :
1111 g

Les avis