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Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
Dissertationsschrift
Dominik Stöffler
Livre broché | Allemand | Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut | n° 5
44,45 €
+ 88 points
Description
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 114
- Langue:
- Allemand
- Collection :
- Tome:
- n° 5
Caractéristiques
- EAN:
- 9783866448438
- Date de parution :
- 29-07-14
- Format:
- Livre broché
- Format numérique:
- Trade paperback (VS)
- Dimensions :
- 170 mm x 244 mm
- Poids :
- 195 g
