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Description
Surveys key research challenges and recent results of manufacturability aware routing in nanometer VLSI designs. The manufacturing challenges have their root causes from various integrated circuit manufacturing processes and steps, e.g., deep sub-wavelength lithography, random defects, via voids, chemical-mechanical polishing, and antenna-effects.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 112
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9781601983503
- Date de parution :
- 04-05-10
- Format:
- Livre broché
- Dimensions :
- 156 mm x 234 mm
- Poids :
- 176 g
