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Description
This book focuses on the mechanical properties of silicides for very large scale integration (VLSI) applications. It presents the fabrication process for bulk silicides and thin films, and list complete testing deformation for a variety of silicon based compounds. The author also presents dislocation in silicides, fatigue and fracture aspects. A special chapter is given on deformation in silicides in the nano scale. Composites and alloys are also considered.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 274
- Langue:
- Anglais
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9783030226008
- Date de parution :
- 14-08-20
- Format:
- Livre broché
- Format numérique:
- Trade paperback (VS)
- Dimensions :
- 156 mm x 234 mm
- Poids :
- 412 g
