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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
Saburo Nonogaki, Ueno Takumi, Toshio Ito
337,95 €
+ 675 points
Description
"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 336
- Langue:
- Anglais
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9780824799519
- Date de parution :
- 25-06-98
- Format:
- Livre relié
- Format numérique:
- Genaaid
- Dimensions :
- 158 mm x 235 mm
- Poids :
- 603 g
