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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography

Livre relié | Milestone Series
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Description

Optical lithography for integrated circuits is undergoing a renaissance with the adoption of Resolution Enhancement Technology (RET). Some RET concepts have become routine in manufacturing. This volume gathers together seminal RET papers.

Spécifications

Parties prenantes

Editeur:
SPIE Press

Contenu

Nombre de pages :
900
Collection :
Milestone Series

Caractéristiques

EAN:
9780819451668
Date de parution :
13-04-04
Format:
Livre relié

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