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Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation
Principles and Applications
David Attwood
Livre broché
64,45 €
+ 128 points
Description
This self-contained, comprehensive book describes the fundamental properties of soft X-rays and extreme ultraviolet (EUV) radiation and discusses their applications in a wide variety of fields, including EUV lithography for semiconductor chip manufacture and soft X-ray biomicroscopy. The book will be of great interest to graduate students, researchers and practising engineers.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 504
Caractéristiques
- EAN:
- 9780521029971
- Date de parution :
- 22-02-07
- Format:
- Livre broché
- Dimensions :
- 180 mm x 253 mm
- Poids :
- 109 g
