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Bei der Untersuchung von Strahlungsschäden in Festkörpern ist es ein grund- legendes Problem, die GröBe des Bereichs zu bestimmen, in dem durch schnelle TeiIchen vorgegebener Energie strukturelle Veränderungen im Festkörper er- zeugt werden. In Metallen werden soIche Veränderungen durch Zwischengitter- atome und Leerstellen hervorgerufen, die durch AtomstöBe über StoBkaskaden entstehen. In den Arbeiten, die sich mit der Theorie der StoBkaskaden beschäfti- gen, wird häufig die Gitterstruktur des Festkörpers nicht berücksichtigt; man legt für die Berechnung eine statistische Verteilung der Atome im Festkörper zu- grunde. Nun kennt man aber zwei Arten von ausgezeichneten StoBfolgen, die gerade durch die Gitterstruktur des Festkörpers bedingt sind. Es sind dieses die fokussierenden StoBfolgen und die StoBfolgen in Gitterkanälen. Beide können unter Umständen in starkem MaBe den Energie-und Massetransport in einem Me- tall beeinflussen. Zur experimentellen Untersuchung fokussierender StoBfolgen ist die Kathodenzerstäubung von Einkristallen besonders geeignet; aber auch über StoBfolgen in Gitterkanälen können Zerstäubungsexperimente Auskunft geben. Im folgenden wird zunächst ein kurzer Überblick über die Theorie der fokussie- renden StoBfolgen und der StoBfolgen in Gitterkanälen gegeben. AnschlieBend wird über die experimentelle Untersuchung der ausgezeichneten StoBfolgen mit Hilfe der Kathodenzerstäubung berichtet. Es werden hierbei im allgemeinen nur die von uns durchgeführten Experimente ausführlicher beschrieben; auf die Ar- bei ten anderer Autoren wird lediglich hingewiesen.