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Chemical Vapor Deposition Polymerization
The Growth and Properties of Parylene Thin Films
Jeffrey B Fortin, Toh-Ming Lu
Livre broché | Anglais
167,95 €
+ 335 points
Format
Description
Chemical Vapor Deposition Polymerization - The Growth and Properties of Parylene Thin Films is intended to be valuable to both users and researchers of parylene thin films. It should be particularly useful for those setting up and characterizing their first research deposition system. It provides a good picture of the deposition process and equipment, as well as information on system-to-system variations that is important to consider when designing a deposition system or making modifications to an existing one. Also included are methods to characterizae a deposition system's pumping properties as well as monitor the deposition process via mass spectrometry. There are many references that will lead the reader to further information on the topic being discussed.
This text should serve as a useful reference source and handbook for scientists and engineers interested in depositing high quality parylene thin films.
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Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 102
- Langue:
- Anglais
Caractéristiques
- EAN:
- 9781441954138
- Date de parution :
- 03-12-10
- Format:
- Livre broché
- Format numérique:
- Trade paperback (VS)
- Dimensions :
- 156 mm x 234 mm
- Poids :
- 185 g
