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Description
Efficient Extreme Ultraviolet Mirror Design describes an approach to designing EUV mirrors with reduced computational time and memory requirements, providing a comprehensive grounding in the fundamentals of the EUV mirror and knowledge of the finite-difference time-domain (FDTD) method. It is an essential reference for EUV industry professionals.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 150
- Langue:
- Anglais
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9780750326506
- Date de parution :
- 23-09-21
- Format:
- Livre relié
- Format numérique:
- Genaaid
- Dimensions :
- 178 mm x 254 mm
- Poids :
- 417 g
