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Description
This text is intended to be a self-contained tutorial on lithography process control. It works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer. Topics covered include linewidth control, overlay, and yield.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 194
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9780819430526
- Date de parution :
- 01-02-99
- Format:
- Livre broché
- Poids :
- 444 g
Les avis
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