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Microelectronic Processing
Chemical Engineering Aspects
50,45 €
+ 100 points
Description
Although chemical engineering principles are at the heart of solid state process technology, until now no reference volume addressing this relationship was available. This is the first book of its kind to tie fundamental engineering concepts to solid state process technology. Discussing the basic concepts involved--liquid-phase epitaxy, physical and chemical vapor deposition, diffusion and oxidation in silicon, resists in microlithography, etc.--this volume will be particularly useful in chemical engineering courses. It offers a framework within which specialized courses in microelectronics processing can be organized. In addition, it serves as a valuable reference source for all industrial engineers working with the individual process steps covered.
Spécifications
Parties prenantes
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 524
- Langue:
- Anglais
- Collection :
- Tome:
- n° 221
Caractéristiques
- EAN:
- 9780841214750
- Date de parution :
- 05-05-89
- Format:
- Livre relié
- Format numérique:
- Genaaid
- Dimensions :
- 159 mm x 232 mm
- Poids :
- 898 g
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