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Modelling of Microfabrication Systems

Raja Nassar, Weizhong Dai
Livre broché | Anglais | Microtechnology and Mems
158,45 €
+ 316 points
Format
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Description

This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Editeur:

Contenu

Nombre de pages :
270
Langue:
Anglais
Collection :

Caractéristiques

EAN:
9783642055362
Date de parution :
08-12-10
Format:
Livre broché
Format numérique:
Trade paperback (VS)
Dimensions :
156 mm x 234 mm
Poids :
394 g

Les avis