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Optical Imaging in Projection Microlithography

Alfred K. Wong
Livre broché | Tutorial Texts
97,45 €
+ 194 points
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Description

An integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that covers the full spectrum of the important concepts. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the development, technologists can gather concepts and the equations that result. The casual reader will gain a perspective.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Editeur:

Contenu

Nombre de pages :
276
Collection :

Caractéristiques

EAN:
9780819458292
Date de parution :
01-03-05
Format:
Livre broché

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