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Description
An integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that covers the full spectrum of the important concepts. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the development, technologists can gather concepts and the equations that result. The casual reader will gain a perspective.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 276
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9780819458292
- Date de parution :
- 01-03-05
- Format:
- Livre broché
