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Description
This newest edition of Principles of Lithography reflects the continuing advancement of lithographic technology. In recent years, certain topics, such as line-edge roughness (LER), multi-electron-beam writers, have become more significant to practicing lithographers. As such extensive treatments of these topics are provided.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 630
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9781510627604
- Date de parution :
- 30-07-19
- Format:
- Livre relié
- Dimensions :
- 262 mm x 185 mm
- Poids :
- 1422 g
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