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Die Schlagworte "Sensor" und "Mikroprozessor" fehlen in keiner Abhandlung im Zusammenhang mit technischen Innovationen. Dahinter verbirgt sich der Wunsch der Industrie nach leistungsfähigen Meßeinrichtungen zur Erfassung physikalischer und chemischer Größen: - Bestimmte Qualitätsmerkmale eines Produktionsprozesses lassen sich nur durch Einsatz geeigneter Sensoren erreichen. - Eine verbesserte Regelungstechnik stellt - zusammen mit der Verfahrens- technik- einen Beitrag zur Qualitätssteigerung sowie zur Energ- und Rohstoffeinsparung dar. - Eine Erhöhung des Automatisierungsgrades technischer Prozesse setzt die Nachbildung der sensorischen Fähigkeiten des Menschen, wie z.B. das Sehen, Hören und Fühlen, voraus. - Der Automatisierungsgrad wurde bisher durch die Kosten der Sensoren einschließlich der Auswerteelektronik begrenzt. Marktstudien prognostizieren den mikroelektronik-kompatiblen Sensoren (elektronische Sensoren) für die kommenden Jahre große Zuwachsraten. Für das Jahr 1986 rechnet man nach BRENDECKE [1] mit einem Marktvolumen von ca. 1 Mrd. DM für Westeuropa (vgl. Abb. 1). Das entspricht einer jährli- chen Steigerung von 32 %. Dabei stellt die Automobilindustrie mit etwa 57 % des Gesamtmarktes den größten zukünftigen Abnehmer elektronischer Sensoren dar. Es ist aber zu bedenken, daß der Marktwert der Sensoren für die industrielle Meßtechnik in der gleichen Größenordnung wie der aller Automobilsensoren liegt, obwohl nach Stückzahlen deren Anteil weni- ger als 1 % ausmacht [1].