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Description
This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology, ranging from ion beam micromachining to x-ray lithography.
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 270
- Langue:
- Anglais
- Collection :
Caractéristiques
- EAN:
- 9783540002529
- Date de parution :
- 13-06-03
- Format:
- Livre relié
- Format numérique:
- Genaaid
- Dimensions :
- 163 mm x 241 mm
- Poids :
- 562 g
