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Silizium-Halbleitertechnologie

Ulrich Hilleringmann
Livre broché | Allemand | Teubner Studienbücher Technik
49,45 €
+ 98 points
Format
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Description

Das vorliegende Studien skript "Silizium-Halbleitertechnologie" ist aus der Vorlesung "Halbleitertechnologie" entstanden, die erstmalig im Wintersemester 1989/90 von Prof. Dr.-Ing. K. Schumacher an der Universität Dortmund gehalten wurde. Um die rasante Entwicklung der Prozeßtechnik berücksichtigen zu können, ist der Inhalt der inzwischen auf zwei Semester ausgedehnten Vorlesung um fortschrittliche Integra- tionstechniken erweitert worden. Ziel dieses Buches ist es, den Studenten der Elektrotechnik, Informatik, Physik, aber auch den Schaltungstechnikem und den Ingenieuren in der Prozeßtechnik, die Realisierung und den Aufbau integrierter Schal- tungen zu veranschaulichen. Es umfaßt die Kristallherstellung, die ver- schiedenen Prozeßschritte der Planartechnik und die Montagetechnik für integrierte Schaltungen. Ergänzend dazu sind grundlegende weiter- führende Integrationstechniken berücksichtigt worden, um dem interes- sierten Leser die Verfahren der Höchstintegration verständlich darlegen zu können. Die Übungsaufgaben sollen zur Überprüfung des Verständ- nisses dienen und gleichzeitig dazu beitragen, die Größenordnungen der verwendeten Parameter abschätzen zu können. Eigene Erfahrungen aus der CMOS-Technologielinie des Lehrstuhls Bauelemente der Elektrotechnik / Arbeitsgebiet Mikroelektronik der Universität Dortmund runden den Inhalt des Buches ab. An dieser Stelle möchte ich Herrn Prof. K. Schumacher herzlich für die gewissen- hafte Ausarbeitung der Unterlagen zur Vorlesung "Halbleitertechnolo- gie" danken, die als Grundlage für dieses Buch dienten. Für die Durch- sicht der Druckvorlage danke ich Herrn Dipl.-Ing. John T. Horstmann. Mein Dank gilt auch Herrn Prof. K. Goser für die Möglichkeit, dieses Buch zu verfassen. Ganz herzlich danke ich meiner Familie für ihre Unterstützung während der zeitintensiven Ausarbeitung der Unterlagen.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Editeur:

Contenu

Nombre de pages :
280
Langue:
Allemand
Collection :

Caractéristiques

EAN:
9783519001492
Date de parution :
01-09-95
Format:
Livre broché
Format numérique:
Trade paperback (VS)
Dimensions :
127 mm x 203 mm
Poids :
294 g

Les avis