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Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik

Ulrich Hilleringmann
Livre broché | Allemand
39,45 €
+ 78 points
Format
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Description

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.

Spécifications

Parties prenantes

Auteur(s) :
Editeur:

Contenu

Nombre de pages :
309
Langue:
Allemand

Caractéristiques

EAN:
9783658423773
Date de parution :
27-10-23
Format:
Livre broché
Format numérique:
Trade paperback (VS)
Dimensions :
170 mm x 244 mm
Poids :
517 g

Les avis