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Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs EBOOK
Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre Goure, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, De Labachelerie Michel, René Castagné
105,00 €
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Description
Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des ré
Spécifications
Parties prenantes
- Auteur(s) :
- Editeur:
Contenu
- Nombre de pages :
- 330
- Langue:
- Français
- Collection :
- Tome:
- n° 2
Caractéristiques
- EAN:
- 9782746227064
- Date de parution :
- 31-05-08
- Format:
- Ebook
- Protection digitale:
- Digital watermarking
- Format numérique:
